超純水設(shè)備成為夯實(shí)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵力量
2023 年上半年,半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)良好,半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造業(yè)實(shí)現(xiàn)了顯著增長。這一現(xiàn)象表明,國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的綜合實(shí)力逐步增強(qiáng),國產(chǎn)化率持續(xù)提升,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈正不斷趨于完善。
超純水作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要組成部分,在半導(dǎo)體國產(chǎn)化進(jìn)程中扮演著不可或缺的角色。眾多企業(yè)通過加大研發(fā)投入,不斷提升超純水制備技術(shù),為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。
對(duì)于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,提升產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本是實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵所在。良率作為衡量半導(dǎo)體制造質(zhì)量的核心指標(biāo),直接關(guān)系到芯片的量產(chǎn)成本以及企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。在高端晶圓制造領(lǐng)域,微小的良率提升都可能帶來極為可觀的利潤增長。與此同時(shí),成本的不斷攀升嚴(yán)重制約著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。因此,提高良率、控制成本,是半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)長遠(yuǎn)發(fā)展的必經(jīng)之路。
在半導(dǎo)體企業(yè)追求良率提升與成本降低的過程中,超純水發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。清洗工序是半導(dǎo)體制程的關(guān)鍵環(huán)節(jié),對(duì)半導(dǎo)體器件的良率有著決定性影響。芯片清洗過程需要使用超純水,這是由于超純水不具備導(dǎo)電性,在清洗元器件時(shí),能夠避免對(duì)產(chǎn)品表面造成損傷,防止產(chǎn)生不可逆的影響。相反,如果超純水水質(zhì)不達(dá)標(biāo),哪怕是微粒子、總有機(jī)碳等某一項(xiàng)指標(biāo)出現(xiàn)偏差,都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體元件生產(chǎn)良率的下降。可以說,高純度的超純水是確保芯片良率和生產(chǎn)效率的重要基礎(chǔ)。
不少企業(yè)通過提供超純水與循環(huán)再生解決方案及相關(guān)裝備,助力半導(dǎo)體企業(yè)提高良品率和水資源利用效率,推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)高效、可持續(xù)發(fā)展,為本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的加速發(fā)展注入活力。
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